제목 | 발광소자의 제조방법 및 그에 의해 제조된 발광소자(METHOD FOR MANUFACTURING LIGHT EMITTING DEVICE AND LIGHT EMITTING DEVICE MANUFACTURED THEREBY) | ||
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출원번호 | 10-2013-0138398 | 출원일자 | 2013-11-14 |
등록번호 | 10-1517551 | 등록일자 | 2015-04-28 |
발명자 | 김범준 | 이종람 | 김수영 | 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
기술 내용 | 본 발명은 발광소자를 구성하는 반도체층 상에 그래핀 시드층을 형성한 후 상기 그래핀 시드층에 산화아연 나노막대를 형성함에 따라 넓은 면적에 균일하게 고밀도의 나노막대를 성장시킬 수 있고, 이를 통해 발광소자의 광추출 효율을 증가시킬 수 있는 발광소자의 제조방법 및 그에 의해 제조된 발광소자에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 발광소자의 제조방법은, 제1형 반도체층, 상기 제1형 반도체층 상에 구비된 활성층, 상기 활성층 상에 구비되어 상기 활성층으로부터 방출된 광을 투과시키는 제2형 반도체층을 포함하여 구성된 발광소자의 제조방법에 있어서, 상기 제2형 반도체층 상에 그래핀 시드층을 형성하는 단계; 및 상기 그래핀 시드층 상에 산화아연 나노막대를 성장시키는 단계;를 포함한다. |